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稀有氣體通常指氦、氖、氬、氪、氙5種氣體,它們屬于元素周期表中的零族,在常溫和常壓下均為氣體狀態(tài)。因其在大氣層和地殼中的含量很少,所以被稱為稀有氣體,又因其化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,又稱為惰性氣體。這5種氣體中,氬在空氣中的體積含量相對(duì)zui多,可達(dá)0.932%,其余4種稀有氣體之和在空氣中的體積含量也不足0.003%,尤其是氙氣特別少,故氙與氪有時(shí)被稱為黃金氣體。氦主要來(lái)源于天然氣,少部分來(lái)源于空氣;核反應(yīng)堆裂變有不少氙,但具有放射性,故除氦外其他稀有氣體主要來(lái)源于空氣分離裝置(空分)。干燥大氣的主要組分是氮、氧和氬,并含有少量的氦、氖、氪、氙、二氧化碳、一氧化碳、氫、氧化亞氮、烴類等。常規(guī)的空分設(shè)備以分離提取高純度的氧、氮、氬產(chǎn)品為主,其他少量的物質(zhì)通常以產(chǎn)品中的雜質(zhì)氣存在,或混合在廢氣當(dāng)中排放,又或在預(yù)處理系統(tǒng)中被吸附器吸附后排放。現(xiàn)在,越來(lái)越多的空分設(shè)備可對(duì)稀有氣體氦、氖、氪、氙進(jìn)行粗提取,為稀有氣體的精制提供高品質(zhì)的原料,很大程度上提高了空分裝置的運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性。與其他加工行業(yè)不同,工業(yè)氣體行業(yè)處理環(huán)境空氣以生產(chǎn)其zui終產(chǎn)品。因此,空分設(shè)備的安全與空氣中的微量污染物密切相關(guān)。由于無(wú)法控制環(huán)境空氣的狀況,了解污染物去除技術(shù)以及裝置現(xiàn)場(chǎng)的空氣成分對(duì)于裝置的設(shè)計(jì)和安全運(yùn)行至關(guān)重要。這些微量物質(zhì)與稀有氣量的含量相對(duì)較為接近,其高度濃縮對(duì)粗制稀有氣體的影響不能忽略。